[SK실트론 구미사업장에 설치된 초순수 생산 설비. (기후부 제공=연합뉴스)]
기후에너지환경부와 SK실트론은 SK실트론 구미사업장에 설치된 ‘초순수 플랜트’ 기술 이전을 위한 성과 활용 협약식을 내일(19일) 연다고 오늘(18일) 밝혔습니다.
초순수는 불순물을 극히 적은 수준으로 제거해 이론적인 순수함에 가장 가까운 물로, 반도체·디스플레이·태양광 패널 등 정밀 제품 생산에 폭넓게 사용됩니다.
정부는 지난 2019년 일본의 반도체 소재 수출 규제에 대응해 초순수 국산화에 착수했으며, 설계·시공·운영 전 과정을 국내 기술로 수행한 초순수 플랜트를 SK실트론 구미사업장에 설치해 성능을 확인해왔습니다.
이번 기술 이전 이후 초순수 플랜트에서 생산된 초순수는 SK실트론 구미사업장에서 반도체용 웨이퍼 생산에 활용될 예정입니다.
기후부는 “국내 설계 기술로 생산된 초순수가 반도체 제조 공정에 사용되는 첫 사례로, 실적 확보와 함께 초순수 시장 진입 기반을 마련했다는 의미가 있다”고 설명했습니다. 기후부는 앞으로 초순수 생산 전 공정 국산화와 기후위기에 따른 공업용수 부족 상황에 대비한 하수 재이용 초순수 생산도 지속 추진할 계획이라고 밝혔습니다.