SK실트론 구미사업장에 설치된 초순수 생산 설비. [기후부 제공. 재판매 및 DB 금지]
(서울=연합뉴스) 이재영 기자 = 기후에너지환경부와 SK실트론은 SK실트론 구미사업장에 설치된 '초순수 플랜트' 기술 이전을 위한 성과 활용 협약식을 19일 연다고 18일 밝혔다.
불순물을 극히 적은 수준으로 제거해 '이론적인 순수함'에 가장 가까운 물인 초순수는 반도체·디스플레이·태양광패널 등 정밀제품을 생산하는 데 광범위하게 사용된다.
정부는 지난 2019년 일본의 반도체 소재 수출 규제에 대응해 '초순수 국산화'에 착수했으며 설계·시공·운영 전 과정을 국내 기술로 한 초순수 플랜트를 SK실트론 구미사업장에 설치해 성능을 확인해왔다.
이번 이전 이후 초순수 플랜트에서 생산된 초순수는 SK실트론 구미사업장에서 반도체용 웨이퍼를 생산하는 데 쓰일 예정이다.
기후부는 "국내 설계 기술로 생산된 초순수가 반도체 제조 공정에 사용되는 첫 사례로 실적 확보와 함께 초순수 시장 진입 기반을 마련했다는 의미가 있다"고 설명했다.
기후부는 초순수 생산 전 공정 국산화와 기후위기로 인한 공업용수 부족 상황에 대비한 하수 재이용 초순수 생산 등도 지속해서 추진하겠다고 밝혔다.
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